-
UID：317649
-
- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2024-11-15
- 在線時間1524小時
-
-
訪問TA的空間加好友用道具
|
分析特定衍射級的衍射效率是光柵結構的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結果是復數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結構（一維/二維周期）的所有信息。 K:8.
Dvn
Q!v]njCIB7
 i@hW" [A F@u>5e^6 光柵規(guī)格 A <<Bm M.% ^9A,j} >o- K1[(% <Gp
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 mUjM5ceAXO
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 ` } :~,E
•光柵參數(shù)在堆棧中設定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 f4r) g2Zb[
+DA ,|~k_
 njg\y @86?!0bt 光柵級次分析器設置 9>hK4&m^ )w'GnUqWz Kuy0C i
•定義光柵結構后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數(shù)和相關衍射特性。 I2^ Eo5'
•此外，各種輸出選項可用于顯示結果。 l~*D
jr~
•這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學設置視圖中的相應元件顯示。 ^P}c0}^
J!@`tR-
 tB==v{t Xgyi}~AoaU 通用設置 YH/3N(], bA8Ro C *#g[
jl4
•在“常規(guī)”選項卡中，您可以選擇分析透射或反射。 _W^{,*p
•此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。 \+Pk"M
−級次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強在級次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級次收集是為傳輸和反射單獨生成的。有關級次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 Os"T,`F2s
−單級次輸出：激活菜單右側的“單級次”選項卡。（見下頁） VSW"/{Lp
−總和傳輸，吸收和反射：相應的信息（即，能量在這三種效應中如何分布，不進一步將結果細分為單個光柵級次，而是作為總值）將顯示在探測器結果選項卡中，或作為參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化的結果。 B96"|v$
−極坐標圖（角度）：生成另一個文檔，該文檔提供不同顯示光柵級次的可視化，其中顯示的角度對應于級次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個平面。有關極坐標圖文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 k$ v8cE
3~6,fTMz{
 }hA h'*( >nO zz0, 單級次設置 3}25=% ;[ :1,xs
|
