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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數。 rwLKY.J] ?K[Y"*y2 1]Xx{j< KSchgon0V 光柵詳細說明 Ur
xiaE %@Gy<t, zX_F+"]THt I2$DlEke •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 1,+<|c)T? •可以在堆棧中指定光柵參數,并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數。 mxgT}L0i 6
H P66B 光柵階次分析器設置 (NLw#)? `&D#P% •定義光柵結構后,可以配置光柵階次分析器。 x!_5/ •可以指定各種輸出選項。 E,6|-V;? •可以在光學設置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 PG63{ %Z_O\zRqy) [WR"#y p [C
9g 常規(guī)設置 D0jV}oz Q0R05* $vu*# .w e&z@yy$
•在“常規(guī)”選項卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 + kKanm[!v •另外,可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標圖。 e
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ah!QM 單個階次設置 ]%A> swCpn 1- s(v)cxh +;~o R_p p$\>3\ •在“單個階次”選項卡中,可以選擇是否記錄單個階次的信息。 2V)+ba|+ •如果想使用VirtualLab Fusion的參數運行或參數優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵,則此選項非常有用。 H}kZ;8 vd lss| 單個階次設置 }dzdx
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