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    [技術]光柵階次分析器 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-06-15
    光柵衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數。 rwLKY .J]  
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    光柵詳細說明 Ur xiaE  
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    I2$DlEke  
    •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 1,+<|c)T?  
    •可以在堆棧中指定光柵參數,并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數。 mxgT}L0i  
    6 H P 66B  
    光柵階次分析器設置 (NLw#)?  
    `&D#P%  
    •定義光柵結構后,可以配置光柵階次分析器。 x!_5 /  
    •可以指定各種輸出選項。 E,6|-V;?  
    •可以在光學設置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 PG63{  
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    [WR"#y  
    p [C 9g  
    常規(guī)設置 D0jV}oz  
    Q0R05*  
    $vu*# .w  
    e&z@yy$  
    •在“常規(guī)”選項卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 + kKanm[!v  
    •另外,可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標圖。 e n~m)r3&  
    m~ ah!QM  
    單個階次設置 ]%A> swCpn  
    1- s(v)cxh  
    +;~o R_p  
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    •在“單個階次”選項卡中,可以選擇是否記錄單個階次的信息。 2V)+ ba|+  
    •如果想使用VirtualLab Fusion的參數運行或參數優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵,則此選項非常有用。 H}kZ;8  
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    單個階次設置 }dzdx