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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數。 L9GLjRp- ~q$]iwwqT z7K{ ,y L2}\Ah"[ 光柵詳細說明 |'^s3i&w #'L<7t
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