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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 bCV_jR+ a$$aM2.2 ~$m:j]; ]4]AcJj 光柵詳細(xì)說明 x2tcr+o ?%Gzd(YEY 3Hf_!C=g @Wa, •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 QUWx\hqE •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。
+f'@ rbI 7
3' 光柵階次分析器設(shè)置 drS>~lSxB =jvL2ps< •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 EOo,olklC •可以指定各種輸出選項。 *z)+'D*+ •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 N[kl3h%q op61-:q/ smHQ'4x9 m3=Cg$n 常規(guī)設(shè)置 CQH^VTQ +<fT\Oq# c=33O,_ Fz2CXC •在“常規(guī)”選項卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 Gp2Cwyv •另外,可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 Q$A;Fk}- qE
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