作為三維形貌測量領(lǐng)域的高精度檢測儀器之一，在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時(shí)的位置，完成3D重建。 BTYYp1  
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SuperViewW1白光干涉儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。其中信號處理系統(tǒng)作為儀器核心部分，由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)，然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。重建算法能自動濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。 M