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    [技術(shù)]衍射級次偏振態(tài)的研究 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-06-27
    光柵結(jié)構(gòu)廣泛應用于各種光學應用場景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等。快速物理光學軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析提供了通用和方便的工具。為此，復雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進行配置，這允許任何類型的光柵形貌進行自由的配置。在此用例中，詳細討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。 <;Tr   
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    p./0N.  
    任務說明 &:1q3 gDm  
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    簡要介紹衍射效率與偏振理論 ;|:R*(2   
    某個衍射級次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個特定的級次中。它是由復數(shù)值瑞利系數(shù)計算出來的，瑞利系數(shù)包含了每個衍射級次（矢量）電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對光柵的特征值問題進行嚴格分析的結(jié)果。 ExeZj8U  
    如果在TE/TM坐標系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計算衍射效率： <Y$( l szT  
    R'" c  
    其中，n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率，ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示輻射光的振幅。 |--Jd$ dj  
    如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù)，則必須應用以下方程： 8 VhU)fY  
    \N$)Q.M  
    因此，必須考慮所給出的瑞利系數(shù)的坐標系。默認情況下，光柵坐標系中為。 T''<y