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光柵結(jié)構(gòu)廣泛應(yīng)用于各種光學應(yīng)用場景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等。快速物理光學軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴格分析提供了通用和方便的工具。為此，復雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進行配置，這允許任何類型的光柵形貌進行自由的配置。在此用例中，詳細討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。 k\ T,C Z< }U=|{ @%
 u.wm;eK[ 1sL#XB$@N 任務(wù)說明 '2u( fLq3h `.f
{V  ~R V>V*l WKf->W 簡要介紹衍射效率與偏振理論 o0Z(B TO 某個衍射級次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個特定的級次中。它是由復數(shù)值瑞利系數(shù)計算出來的，瑞利系數(shù)包含了每個衍射級次（矢量）電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對光柵的特征值問題進行嚴格分析的結(jié)果。 =)Cqj p 如果在TE/TM坐標系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計算衍射效率： 3Zm'09A-.  x&6SjlDb$K 其中，n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率，ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示輻射光的振幅。 lMu}|d 如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù)，則必須應(yīng)用以下方程： %[:\ZwT,-  r7z8ICX'q 因此，必須考慮所給出的瑞利系數(shù)的坐標系。默認情況下，光柵坐標系中為 。 &u62@ug#} _~aFzM
光柵結(jié)構(gòu)參數(shù) |kwBb>V 研究了一種矩形光柵結(jié)構(gòu)。 8SvPDGu `] 為了簡化設(shè)置，選擇光柵配置，只允許零階(R_0)反射傳播。 &UhI1mi]h 根據(jù)上述參數(shù)選擇以下光柵參數(shù)： 3:Aw.-,i\ 光柵周期：250 nm =9UR~-`d\ 填充因子：0.5 J`U\3:b`SP 光柵高度：200 nm D
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