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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-06-28
    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng)，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 LG"BfYy6  
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    建模任務(wù)  m^W*[ ^p  
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    概述 44<9zHK  
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    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 <DA{\'jJ  
    •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 # CP9^R S  
    vWPM:1A  
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    光線追跡仿真 FF~on06!   
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。