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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 yp!Xwq#n
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Br-bUoua 建模任務(wù) 5E~][. d
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 >uxak2nM- = OhhMAn 入射平面波 qAkx52v6 波長 2.08 nm NOo&5@z;H 光斑直徑： 3mm KvC:(Vqj 沿x方向線偏振 ! /Hln;{ 4W$53LP8 如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ )FE'# \ 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ t+p-,ey ^@ 3{~h Rd 概覽 oM QH- \(} •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 aU
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