iM-hWhU 這是一個簡單的二維
光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
d T0 z^SG \)6?u_(u 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量
ph$&f0A6Xc 
P偏振光照明的場矢量 <?`e9o
#ui%=ja[:~ 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
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