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分析特定衍射級的衍射效率是光柵結構的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結果是復數瑞利系數，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結構（一維/二維周期）的所有信息。 -D.BJ(  
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光柵規(guī)格 \NvC   
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•為了演示光柵階數分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 UUdu;3E=5  
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 T U"K#V&u  
•光柵參數在堆棧中設定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 $71D)*{P  
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光柵級次分析器設置 *@$($<pY&  
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•定義光柵結構后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數和相關衍射特性。 s+y'<88  
•此外，各種輸出選項可用于顯示結果。 X:xC>4]gG'  
•這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學設置視圖中的相應元件顯示。 9TbS>o
 
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