R$!;J?SS  
分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 AmT|%j&3  
gFWEodx,9  
jMz1s%C  
p|bc=`TD  
光柵規(guī)格 'k-u9  
!wLH&X$XT  
|d/x~t=  
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 jV,(P$ 5;  
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 [a>JG8[,t  
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 a@5xz
)  
/%ODJ1