;J&p17~T9 在
衍射光學中，當周期性
結(jié)構(gòu)被準直光照射時，可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結(jié)構(gòu)的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應（用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔），它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應用。
pOKs VS%fT p "Cxe 利用快速
物理光學建模和設計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術(shù)，可以充分研究這種效應及其應用。請看下面的例子，在這些例子中，我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應的基本
原理，并更仔細地研究特定的光刻應用，以產(chǎn)生
納米結(jié)構(gòu)。
S5(VdMd"^ 圓錐相位掩模版的泰伯成像 Jjr&+Q^3Tu
+;| " # +k<0: Fi 在VirtualLab Fusion中對帶有一層圓錐體的相位掩模板進行了嚴格的建模。檢測到不同的Talbot圖像，其中柱圖案在主圖像平面中再現(xiàn)，而孔圖案在次圖像平面中再現(xiàn)。
\}p !S$` 泰伯效應的建模 wa f)S=
= 9K5f# ;e 7J6D
