掠入射反射
光學(xué)元件在X射線光路中廣泛使用,特別是Kirkpatrick-Baez(KB)橢圓
反射鏡系統(tǒng)。(A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319)聚焦是通過使用兩個
物理分離的橢圓反射鏡聚焦二維
光束來實(shí)現(xiàn)的。進(jìn)入系統(tǒng)的X射線可以通過系統(tǒng)聚焦到
納米尺度大小的
光斑。該系統(tǒng)在VirtualLab Fusion中進(jìn)行了建模和
仿真,并計(jì)算了焦點(diǎn)位置的電場。
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V`5O{Gg 建模任務(wù) bA 2pbjg= ib m4fa 7zMr:JmV 637:
oT_`O 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(1) 4H/OBR 0RfZEG) crCJrN= Ri'n 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(2) pg.%Pdr<$ tPvpJX6kP NK+o1 9WHddDA 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(3) hTkyz
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