掠入射反射
光學(xué)元件在X射線光路中廣泛使用,特別是Kirkpatrick-Baez(KB)橢圓
反射鏡系統(tǒng)。(A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319)聚焦是通過使用兩個(gè)
物理分離的橢圓反射鏡聚焦二維
光束來實(shí)現(xiàn)的。進(jìn)入系統(tǒng)的X射線可以通過系統(tǒng)聚焦到
納米尺度大小的
光斑。該系統(tǒng)在VirtualLab Fusion中進(jìn)行了建模和
仿真,并計(jì)算了焦點(diǎn)位置的電場。
OlOOg )4L2&e`k)( kGYpJg9= J:yv82 建模任務(wù) a)QT#. d_yvG.#C |Vx[ im2mA8OH 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(1) ,t9EL 21 h;gc5"mG 9Da{|FyrD tOiz tYu 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(2) *[Z`0AgP z1mB Hz6 R^l0Bu]X bY" zK',m 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(3) .9nqJ7] :y-;V )QE6X67i ,8@<sFB' 焦平面上的能量密度和電場 q]?qeF[ ^k=<+*9 Lv%3 jj g,Ob/g8uc 軟件界面 *7xcwjeP M\R+:O& r1L@p[> VirtualLab Fusion操作流程 U>2KjZB 設(shè)置輸入高斯場
|[?Otv 5Z>a}s_i 設(shè)置組件的位置和方向
a{kJ`fK .4zzPD$1 可編程的橢圓界面
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