光學(xué)波導(dǎo)氣體
傳感器，簡稱為“光波導(dǎo)傳感器”，實(shí)際光學(xué)波導(dǎo)就是通過
玻璃光波導(dǎo)面固定對某一種被測氣體有選擇性響應(yīng)的敏感試劑，來制作的
薄膜光波導(dǎo)氣體傳感器。首先利用離子交換法可以制備出
折射率平穩(wěn)變化的光波導(dǎo)，然后通過玻璃基板表面附近結(jié)合比較弱的或可移動的離子與玻璃表面的半徑較小離子進(jìn)行交換，可以形成折射率略高于基板的導(dǎo)波。
C.}Vm};M _ZU.;0 接著將篩選具有一定選擇性的敏感
材料，通過旋轉(zhuǎn)甩涂法或者提拉法固定在玻璃光波導(dǎo)表面，制作薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件，將薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件安裝在光波導(dǎo)檢測
系統(tǒng)中對氣體進(jìn)行檢測，當(dāng)敏感層與被測氣體相互按觸時，氣敏改變敏感薄膜的光學(xué)
參數(shù)，進(jìn)而引起臨近波傳播模式的改變,導(dǎo)致輸出光強(qiáng)度的變化。
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