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    [技術]錐形相位掩模的Talbot像 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-10-20
    在傳統(tǒng)的Talbot光刻中,在光敏層中僅使用一個圖像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通過傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)在VirtualLab Fusion中對具有一層圓錐體的相位掩模進行了建模。探測得到不同的Talbot像,柱狀圖位于主像面上,孔狀圖位于次像面上。 ]9 _}S  
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    建模任務 $`%Om WW{  
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    mvTp,^1  
        結構和材料參數(shù)來自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Ac*J;fI  
         M=&,+#z<V  
    某一位置的Talbot圖樣 [dz3k@ >0  
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    某一位置的Talbot圖樣 h~CLJoK<  
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