高速垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）是高速光通信的主要光源之一，受數(shù)據(jù)流量的迅速增長牽引，高速VCSEL正向更大帶寬、更高速率方向發(fā)展。長春光機所團隊通過優(yōu)化VCSEL外延設計和生長、器件設計和制備、以及性能表征技術，在多個波長的高速VCSEL的調(diào)制帶寬、傳輸速率、模式、功耗等性能方面取得了顯著進展。實現(xiàn)高速單模940 nm VCSEL 27.65 GHz調(diào)制帶寬和53 Gbit/s傳輸速率；通過波分復用基于850 nm、880 nm、910 nm和940 nm高速VCSEL實現(xiàn)200 Gbit/s鏈路方案；通過光子壽命優(yōu)化，實現(xiàn)高速VCSEL低至100 fJ/bit的超低能耗；實現(xiàn)1030 nm高速VCSEL 25 GHz調(diào)制帶寬；實現(xiàn)1550 nm 高速VCSEL 37 Gbit/s傳輸速率。研制的高速VCSEL在光通信等領域有重要應用前景。