干涉測量法是
光學(xué)計量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高
精度的
機械和熱變形。 作為一個典型示例,在
VirtualLab Fusion中借助非
序列場追跡,構(gòu)建了具有相干
激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了
光學(xué)元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。
MZ+e}|!4, \Ofw8=N-2 FWC5&tM bJ_cId8+ 建模任務(wù) OTZ_c1"K O@iu aeEW >\w&6i~ y&_m4Zw" 元件傾斜引起的干涉條紋 i!~'M;S OUP?p@%]< +PK6-c\r 8z5# ]u; 元件移動引起的干涉條紋 "g+z !4b#
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