干涉測(cè)量法是
光學(xué)計(jì)量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高
精度的
機(jī)械和熱變形。 作為一個(gè)典型示例,在
VirtualLab Fusion中借助非
序列場(chǎng)追跡,構(gòu)建了具有相干
激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了
光學(xué)元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。
(y{nD~k 7{:g|dX Dt8wd,B 9\[A%jp#K@ 建模任務(wù) .3*VkAs RXU#.=xvy ~\D
H[Mt Hxzdxwz%$ 元件傾斜引起的干涉條紋 sT"h)I)]* l#G }j^Q Je~d/,^WU A`qb5LLJ) 元件移動(dòng)引起的干涉條紋 B)`^/^7
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U<lCK!85[ :g[G&Ds8 VirtualLab Fusion工作流程 34P5[j!h OY/sCx+c )wwQv2E - 設(shè)置組件的位置和方向
- 設(shè)置組件的非序列通道
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