DV D} 可用于嚴格分析
光柵效率。在
VirtualLab Fusion中，可以設置光柵
系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與
參數運行結合使用，可以在給定的參數空間上進行掃描，以研究指定
結構在不同配置下的性能。
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p< 'mc|hGq 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）
}"fP,:n"KN OM]p"Jd 建模任務 =(*Eh=Pw
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N!;Y;<Ro_ }K;@$B6,@ 單次FMM仿真結果 /{7x|ay]
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VYf$0oo\4 jD_(im5 參數掃描（1D） Gyy:. ]>&
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