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A%F$Mk 作為
衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時(shí)非常有效。 但在另一方面，當(dāng)衍射
光柵的周期小到可以與
波長相比較時(shí)，這種近似將會(huì)變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析，用來比較兩種方法的結(jié)果。
7{BnXN[ 用于光柵建模的TEA與FMM H$!-f>Rxa
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":WYcaSi ZW y e> ] 我們同時(shí)使用TEA和FMM（也稱為RCWA）來分析兩種周期不同的光柵（正弦光柵和閃耀光柵），并比較了兩種方法的結(jié)果。
`\FI7s3b 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析 ^JhFI*
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iM8( O.:I,D&] 在
VirtualLab Fusion中，傅里葉模態(tài)方法（FMM）可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。
