?G|*=-8 如何將光聚焦到一個(gè)越來(lái)越小的光斑上,是
光學(xué)領(lǐng)域中一直存在的問(wèn)題,特別是最近,已發(fā)展出各種旨在深聚焦光的方法。研究高數(shù)值孔徑條件下的光聚焦通常需要全矢量電磁
仿真技術(shù)。我們使用VirtualLab Fusion軟件演示了不同偏振態(tài)(如徑向)和孔徑形狀(如環(huán)形)對(duì)聚焦區(qū)域電磁場(chǎng)的影響,這種分析既可以用理想
透鏡,也可以用具有明確
結(jié)構(gòu)和
材料信息的真實(shí)透鏡進(jìn)行。
CVk.Ez6 用消球差透鏡對(duì)各種偏振光束進(jìn)行深聚焦 295U<
@)iAV1r" =zetZJg VirtualLab Fusion中的消球差透鏡
模型,為分析具有不同形狀孔徑的各種偏振矢量場(chǎng)的聚焦效果,提供了一種簡(jiǎn)便的方法。
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分析高NA物鏡聚焦
,p3moD
3 Ei$@)qS/ +?&|p0 高NA物鏡廣泛應(yīng)用于光刻、顯微等領(lǐng)域。在對(duì)這種聚焦
系統(tǒng)的仿真中,考慮光的矢量特性是非常重