對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 P2`!)teN  
%@{);5[  
EnrRnVB  
=B(zW.Gf  
建模任務(wù) yp=2nU"o  
10JxfDceD  
`bGAc&,&  
EV@xUq!x.  
1階的參數(shù)優(yōu)化 nJYcC"f  
1@H3!V4  
:_tsS)Q2m  
{O
6f1LuH  
結(jié)果-容差分析 >sP-)ZeuU[  
M[0@3"}}  
<3QE3;4  
p3*}!