對于如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說,光如何高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用,眾所周知傾斜
光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次,優(yōu)化得到的光柵的
衍射效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
M#m;jJqON WNQ<XBqAw O(D2F$VlL `c-omNu 建模任務(wù) n"Bc2}{
]bpgsW:Xu
Q[|*P ] w (vchZn# 1階的參數(shù)優(yōu)化 hv\Dz*XTs0
fz2}M:u
#5'&
|< 3hUP>F8 結(jié)果-容差分析 1v,R<1)&
6f
?,v5
\/V#,O K(d+t\ca 結(jié)果-容差分析 ,_,*I/o>B
~oT*@
jh`[Y7RJO =]/<Kd}A. 在VirtualLab Fusion中查看 /4+(e