MHyl=5  
復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 27 TZ+?  
bl>b/u7/6  
1. 本案例主要說明： z(X6%p0  
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： z slEUTj)  
- 基于介質(zhì)的定義類型 wBHDof xX  
- 基于表面的定義類型 EM w(%}8w  
 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 A^@