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復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱(chēng)RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 yA)/Q Yge  
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1. 本案例主要說(shuō)明： mk.9OhYY  
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過(guò)： ) i;1*jK  
- 基于介質(zhì)的定義類(lèi)型 u+Y\6~
=+  
- 基于表面的定義類(lèi)型 Cn,d?
H  
 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 r)y=lAyF>  
 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱(chēng)作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱(chēng)為2D光柵。 `=4r+  
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2. 光柵工具箱初始化 @$ne{2J3  
 初始化 .c8g:WB<  
- 開(kāi)始→ ?qPo=~y01  
光柵→ aOl
T;h  
一般光柵光路圖(3D光柵) my(2;IJ#{  
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