#khyy-B= 復(fù)雜
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
;+aDjO2( z+5u/t 1. 本案例主要說明:
YA1{-7'Q 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過:
:y<Cd[/ - 基于介質(zhì)的定義類型
FE^?U%:u@ - 基于表面的定義類型
WVBE>TB 計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
VO\S>kw 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
i2\\!s