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WlOmJtt4) XWBA^|-N 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)需要減少表面反射?刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來(lái)源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了
VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
)1?y 8_B ?+))}J5N\ 設(shè)計(jì)任務(wù) ZF!h<h&, Ytn9B}%o
Wf+cDpK y6(Z`lx 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
hNC&T`.-~B h79}qU 掃描參數(shù)空間以獲取初始解 /CrSu
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is?{MJZ_ ?g_3 [Fk 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化 D}-/c"':}
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wo3d#= D(~U6SR VirtualLab Fusion中的工作流程 4S7v:1~xe p/ ,=OaVU 構(gòu)建
光柵結(jié)構(gòu)
C"y(5U)d 0HZ{Y9] 分析光柵
衍射效率
W8G,=d}6 ,V7nzhA2 使用參數(shù)運(yùn)算尋找初始解
ncaT?~u j n*h)'8`Ut 使用參數(shù)優(yōu)化確定最終解
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