白光
干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測(cè)量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀設(shè)置和氙燈
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量?紤]到光源的
光譜特性,即有限的相干長(zhǎng)度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。
{,~3.5u 3kMf!VL 1 Ya`| ?FS 1. 建模任務(wù) Hg$lXtn] J
S_]FsxD 2. 干涉條紋的變化 5N&?KA- ~La>?:g <+ "!%l/_p? 3. VirtualLab Fusion概覽 fx>4 'y3!fN=h X(-4<B 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 ';=O 0)u 設(shè)置輸入場(chǎng)
<<R*2b V%
6I\G2/: 定義組件的位置和方向
KNIn:K^/ p2$P:!Y) 正確設(shè)置通道以進(jìn)行非順序跟蹤
}d}Ke_Q0 "5wa91* 使用
參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化
7Da` eM?I$eP