白光
干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測(cè)量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀設(shè)置和氙燈
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量?紤]到光源的
光譜特性,即有限的相干長(zhǎng)度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。
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{\D&* 1. 建模任務(wù) XQ}J4J~Vm p?y2j 2. 干涉條紋的變化 c%/b*nQ(=
5OI.Ka 'JMW.;Lh?X 3. VirtualLab Fusion概覽 g=$U&Hgs g77M5(ME ESRj<p%W 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 aYaEy(m 設(shè)置輸入場(chǎng)
[[IMf-] "a)6g0gw 定義組件的位置和方向
iibG$?( hU""YP~y 正確設(shè)置通道以進(jìn)行非順序跟蹤
\t7yH]:>@ qX-ptsQ 使用
參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化
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