摘要 !X|k"km"  
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因?yàn)閮A斜光柵在特定衍射級(jí)中具有高效率，故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今，它們經(jīng)常應(yīng)用于增強(qiáng)和混合現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對(duì)文獻(xiàn)中的某些傾斜光柵的幾何形狀，具體參數(shù)如傾斜角度，填充因子和調(diào)制深度進(jìn)行分析。 此外，本案例還研究了不同入射角對(duì)衍射效率的影響。 bd!U)b(}OV  
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建模任務(wù) MIq"Wy|Zs  
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衍射效率與相對(duì)深度 k=[pm5ZvT~  
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在VirtualLab Fusion中通過(guò)傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進(jìn)行仿真。 /.R<,/gj  
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參考文獻(xiàn)：J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond /b5>Qp  
    Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) OfTfNhpK  
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衍射效率與傾斜角度
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