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    [技術(shù)]高NA物鏡聚焦的分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-01-18
    O& %"F8B  
    高NA物鏡廣泛用于光學光刻,顯微鏡等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對這種鏡頭進行光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應。相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應。 "E)++\JL  
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    光線追跡仿真 =6Sj}/   
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。 C7 ]DJn  
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    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 |[owNV>  
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    光線追跡仿真 7}'A)C>J;  
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