O& %"F8B 高NA物鏡廣泛用于
光學光刻,
顯微鏡等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用
VirtualLab對這種
鏡頭進行
光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應。
相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應。
"E)++\JL !_-sTZ k;_KKvQ H4'DL'83 建模任務 =ch
Af= v;]I^Kq 1m<?Q&|m$ 概觀 \btR^;_\A ,mjfZ*N "R2t&X[9 光線追跡仿真 =6Sj}/ vV6Lp •首先選擇“光線追跡
系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。
C7 ]DJn q bZ,K@0 •點擊Go!
YP#AB]2\} •獲得3D光線追跡結(jié)果。
|[owNV> Yl&tkSw46 H8-D'q>R {#1j" 光線追跡仿真 7}'A)C>J; x