Y/sZPG}4 高NA物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻,
顯微鏡等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用
VirtualLab對這種
鏡頭進(jìn)行
光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。
相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。
7,zE?KG / iK=QP+^VN cn Ohj pxn@rN#* 建模任務(wù) L{rd', S_TD o #{?~XS 概觀 {[3xi`0- RO@=&3s _+X-D9j(l 光線追跡仿真 gD2P)7: 0Py*%}r1 •首先選擇“光線追跡
系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。
bz}-[W+ u 7:Iv •點(diǎn)擊Go!
md,KRE •獲得3D光線追跡結(jié)果。
4xH/a1&p= 9F[_xe@ 5+Ao.3Xn %DA&txX}w 光線追跡仿真 Ra"hdxH C57m{RH o{hX?,4i •然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為仿真引擎。
Au6Y] •單擊Go!
H~^)^6)^T •結(jié)果,獲得點(diǎn)列圖(2D光線追跡結(jié)果)。
}V[ORGzox `ZbFky{ Ch\__t*v! \2]_NU5. 場追跡仿真 7WwE] ^M 0?}n(