g&&- 高NA物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻,
顯微鏡等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用
VirtualLab對(duì)這種
鏡頭進(jìn)行
光線追跡和場(chǎng)追跡分析非常方便。通過場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。
相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。
}ZqnsLu[) t9l]ie{"o. 6K Cv |!m8JV|x 建模任務(wù) uE &/:+ /qaWUUf FHbyL\Q 概觀 7H])2:) :;Xh`br tn38T% 光線追跡仿真 3-Bz5sj9 M!R=&a=Z •首先選擇“光線追跡
系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。
l~Hu#+O YQ|o0> •點(diǎn)擊Go!
B=}s7$^ •獲得3D光線追跡結(jié)果。
LK|1[y^h !&adO,jN+= A$3ll|%j JA09 o( 光線追跡仿真 l@:&0id4I #EA` | Hkrh