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掃描干涉法是實(shí)現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性,只有當(dāng)光程差在相干長度內(nèi),干涉圖案才會出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 4lI&y<F 2V*;=cv~z ~:*V'/2k
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建模任務(wù) >:h&5@^j$ *;T'=u_lR JFq<sY! h-fm)1S_ 結(jié)果 qp{~OW3 %~P3t=r eQ,VK`7X
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