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掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性，只有當光程差在相干長度內(nèi)，干涉圖案才會出現(xiàn)。因此，它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀，用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 <1FC%f/
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