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    [技術(shù)]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-02-27
    成像系統(tǒng)>包括光柵 W8g' lqc|  
    SI6B#u-i  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 7FF-*2@  
    ?J,AB #+  
    g_Im;1$  
    WGAXIQ  
    亮點 9RwawTM  
    7_# 1Ec|;  
    5IKL#V `3a  
    wJlX4cT4YV  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數(shù)值孔徑(NA)) /xJqJ_70X  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 _U{&@}3  
     考慮入射光的方向分布 qSx(X!YS  
    J# kl 7  
    說明:光源 )R sM!}  
    c '\SfW<  
    |([R'Orm  
    Xes|[