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    [技術(shù)]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-02-27
    成像系統(tǒng)>包括光柵 r@}`Sw]@  
    '=vZAV`  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 {=3A@/vM  
    #lrwKHZ+  
    Et!J*{s  
    jQ;/=9  
    亮點(diǎn) u+Ix''Fn#%  
    )I[f(f%W7  
    ~;3#MAG  
    BW7AjtxQ&  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數(shù)值孔徑(NA)) $/s"It  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 ;.Bz'Q  
     考慮入射光的方向分布 wYf\!]}'  
    S?d<P  
    說明:光源 0t? o6 e  
    o *J*} y  
    l<w7 \a6  
    @Suz-j(H  
    說明:光束分束器 TG}owG]]  
    ":$4/b6  
    8j;Un]  
    yf9"Rc~+  
    說明:檢測透鏡系統(tǒng) U}5fjY  
    f-enF)z  
    0WC\u xT7  
    xcr2|  
    說明:微型晶片 v1 8<~  
    ?4%H(k5A  
    4`Ud\Jm[s  
    llP V{  
    說明:檢測物鏡 >