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成像系統(tǒng)>包括光柵 r@}`Sw]@ '=vZAV` 任務(wù)/系統(tǒng)說明 {=3A@/vM #lrwKHZ+ Et!J*{s jQ;/=9 亮點(diǎn) u+Ix''Fn#% )I[f(f%W7 ~;3#MAG BW7AjtxQ& 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數(shù)值孔徑(NA)) $/s"It 嚴(yán)格分析光柵衍射效率 ;.Bz'Q 考慮入射光的方向分布 wYf\!]}' S?d<P 說明:光源 0t?o6e o *J*}y l<w7
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