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成像系統(tǒng)>包括光柵 Q#ksf
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' 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） d#bg(y\G| 嚴(yán)格分析光柵衍射效率 Z+);}>-5 考慮入射光的方向分布 %'e$N9zd mSu$1m8 說(shuō)明：光源 *)^ ZUk g +gcH  %Y'/_
esH2 9 4lt?|3= 說(shuō)明：光束分束器 Lwf[*n d #EE<MKka  l,b,U/3R. /=9dX;
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