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    [技術(shù)]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-02-27
    成像系統(tǒng)>包括光柵 :\C/mT3xL)  
    |pBvy1e4)  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 +|H,N7a<  
    3S1{r )[j  
    |{RCvm  
    7X>*B~(R  
    亮點(diǎn) 5RP5%U  
    cC]]H&'Hg+  
     NErvX/qK  
    P.jy7:dB,  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） EKS?3z%!  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 Ec^2tx"=  
     考慮入射光的方向分布 W@i|=xS?  
    'v=BAY=Ef  
    說明：光源 DiZ;FHnaG?  
    Z-yoJZi  
    g4{0  
    0_,un^  
    說明：光束分束器 %Aa_Bumf*:  
    "ZA`Lp;%w  
    eu?P6>urA