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[求助]低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成？ [復(fù)制鏈接]

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離線repent134

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-03-30

成膜后破壞鍍膜表層，用擦拭液擦拭膜層延展性比較大

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離線yzhuang

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-03-30

這個Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧，建議150℃以上，低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想，如果想低溫成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些