成膜后破壞鍍膜表層，用擦拭液擦拭膜層延展性比較大

這個Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧，建議150℃以上，低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想，如果想低溫成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 Zi ESlf$  

主要SIO2打底層，掉膜也是掉到了基板

離子源&充氧&電子槍速率方面看下

建議測一下溫度

基片是否干凈，擴散泵是否返油，第一層速率及離子源參數(shù) )b4$A:  

1，注意一下清洗，必要手擦幾片做比較。 VD7i52xS  
2，鍍膜前用離子源清洗，用質(zhì)量大的Ar，多打一陣子。 P,xwSvO#M  
3，基板如果是玻璃就加到150度以上， *VeW?mY,P  
如果是塑膠，用鹵素燈加熱（不要用加熱絲） JMa3btLy(  
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其他的上面的都講過了，其實工藝參數(shù)很重要。 Mt>oI SN&d  
如果是塑膠片，加熱很重要

請教一下為什么加熱不能用加熱絲，光馳機里好像沒有鹵素燈

jimmy_:請教一下為什么加熱不能用加熱絲，光馳機里好像沒有鹵素燈 (2024-02-19 17:21)  }%!tT\8  

0?Q_@Y  
因為塑膠片導(dǎo)熱不行。 "
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加熱絲最初加熱的是片子背面，熱量靠傳導(dǎo)再到鍍膜面， P1>AOH2yG  
一個是升溫慢，一個是均勻性差。 ?}p:J{  
而鹵素燈照射的是鍍膜面，升溫會比較快，而且溫度的均勻度也好。 _c(4o:  
加熱快的，吸收的水氣出來的也多