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    [分享]Ansys Zemax | 如何使用 Zenike 系數(shù)對黑盒光學(xué)系統(tǒng)進行建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-04-03
    通常需要在設(shè)計中表示光學(xué)系統(tǒng),即使您沒有詳細(xì)的處方數(shù)據(jù),如曲率半徑、眼鏡等。本文展示了如何使用 Zernike 系數(shù)來描述系統(tǒng)的波前像差,并在無法使用 Zemax 黑匣子表面文件的情況下生成光學(xué)系統(tǒng)的簡單但準(zhǔn)確的表示。如果您依賴于使用光學(xué)系統(tǒng)測量的實驗數(shù)據(jù),但您無法獲得其處方數(shù)據(jù),則通常會出現(xiàn)這種情況。(聯(lián)系我們獲取文章附件) T`(;;%  
    e!L sc3@  
    介紹 Z7k1fv:S^  
    cfO^CC  
    有時需要表示光學(xué)子系統(tǒng),而不詳細(xì)了解其處方。對于一階計算,近軸透鏡就足夠了,但是當(dāng)也需要波前像差時,可以使用Zernike相位系數(shù)來提供光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生的波前的精確模型。 UJyiRP:#]>  
    A~ %g"  
    "O"^\f  
    OpticStudio支持全面的黑盒功能,建議用于此目的。但是,如果無法提供 Zemax 黑匣子文件,則可以使用以下過程。 ;Wp`th!F  
    }I'>r(K  
    qH}62DP3  
    澤尼克相位數(shù)據(jù) r4z}yt+  
    ix_$Ok  
    如果您想在不透露處方數(shù)據(jù)的情況下將像差數(shù)據(jù)分發(fā)給客戶,則可以由 OpticStudio 生成這些 Zernike 相位系數(shù),或者如果您正在測量沒有處方數(shù)據(jù)的鏡頭,則可以通過干涉儀生成。根據(jù)您的干涉儀軟件,您可能已經(jīng)擁有OpticStudio Zernike格式的數(shù)據(jù),網(wǎng)格相位數(shù)據(jù)或.INT文件。OpticStudio可以處理所有這些,但在本文中,我們將僅使用Zernike數(shù)據(jù)。 2EI m  
    ` wsMybe#  
    &_Xv:?  
    Zernike相位數(shù)據(jù)表示光學(xué)系統(tǒng)在特定場和特定波長下性能的測量。因為有關(guān)玻璃、曲率半徑、非球面系數(shù)等的信息。不是 Zernike 數(shù)據(jù)的一部分,無法將 Zernike 數(shù)據(jù)縮放到不同的場或波長。因此,對于要模擬性能的每個(場、波長)對,您將需要一組 Zernike 相位數(shù)據(jù)。這些可以通過為每個(場,波長)組合提供一個單獨的文件或(更有可能)為每個(場,波長)對提供單獨的配置來輸入OpticStudio。 u3ri6Y`  
    "S:NU .c?  
    有一個重要的例外:當(dāng)被建模的系統(tǒng)是全反射系統(tǒng)時,可以使用Zernike標(biāo)準(zhǔn)SAG表面來模擬給定場點的所有波長下的性能。下一期將詳細(xì)介紹此特殊情況。
    x]jdx#'  
    J6?_?XzToT  
    起始設(shè)計
    d}6AHS[  
    /*xmv $  
    本文中使用的所有示例文件都包含在一個 zip 文件中,可以從本文頂部的鏈接下載該文件。我們將要看的第一個文件是“Cooke one field, one wavelength.zmx”,它基于 OpticStudio 分發(fā)的 Cooke 三元組示例文件。顧名思義,此文件基于單個(場,波長)對。 >GF(.:7  
    /:c,v-  
    1.cUol nr  
    它的波前看起來像這樣:
    tMs| UC  
    `HZHVV$~  
    l{7Dv1[Ss  
    它的光斑大小是這樣的: L-oPb)  
    nms<6kfzL  
    e"&9G}.f  
    5qAE9G!c  
    現(xiàn)在,澤尼克系數(shù)是描述光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生的波前誤差的緊湊方法。為了產(chǎn)生“黑匣子”模型,我們必須首先生成具有相同一階特性的近軸光學(xué)系統(tǒng),然后用Zernike數(shù)據(jù)像差該近軸系統(tǒng)產(chǎn)生的波前。 kgI.kT(=  
    KE|u}M@v6  
    我們需要的關(guān)鍵近軸數(shù)據(jù)是出口瞳孔位置和出口瞳孔直徑。所有波前數(shù)據(jù)都是在出射瞳孔中測量的,因此我們的黑匣子系統(tǒng)必須具有相同的瞳孔數(shù)據(jù)。對于此文件,瞳孔數(shù)據(jù)如下所示:
    Z_ FL=S\  
    出口瞳孔直徑 = 10.2337 mm t$kf'An}/  
    出口瞳孔位置 = -50.9613 mm )]e d;V  
    V,* 0<7h  
    近軸當(dāng)量 :_[cT,3  
    $>*/']>  
    打開文件“Paraxis Equivalent.zmx”。它模擬了相同的系統(tǒng),只有一個近軸透鏡表面: ^`PSlT3<F  
    G^eFS;  
    i|! 9o:  
    k=q%FlE  
    請注意以下幾點: R~mMGz  
    ·它使用與原始設(shè)計相同的場和波長。 RBp(dKxM$w  
    ·其入射瞳孔直徑設(shè)置為與原始系統(tǒng)的出射瞳孔直徑相同的值。在此文件中,入射瞳孔、停止曲面和出射瞳孔都位于同一位置。 *Uw#  
    ·近軸透鏡的焦距和到圖像表面的厚度均設(shè)置為等于原始文件的-1*出瞳位置。-1因子是因為EXPP是從圖像到瞳孔測量的,但表面厚度是從瞳孔到圖像的距離,因此需要改變符號。 jwE(]u  
    ·系統(tǒng)具有與原始系統(tǒng)相同的一階屬性。
    Ph!NY i,  
    %X-&yGY  
    E/Gs',Y  
    該系統(tǒng)的出瞳與原始系統(tǒng)的出瞳大小完全相同,位置相同。為了在近軸透鏡輸出上添加像差,我們在近軸透鏡之后使用Zernike標(biāo)準(zhǔn)相位表面。我們的目標(biāo)是獲取原始透鏡的澤尼克系數(shù),并將它們添加到近軸等效透鏡的澤尼克表面上。 3@WI*PMc  
    ."@a1_F|  
    sMpC4E  
    >C d&K9H  
    [T?6~^m=  
    在鏡頭之間復(fù)制澤尼克數(shù)據(jù) )-Sl/ G  
    @42lpreT  
    返回“Cooke One Field One Wavelength.zmx”文件,然后單擊“分析…波…澤尼克標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)”。OpticStudio計算系統(tǒng)的波前,然后擬合一系列Zernike多項式。 \?]HqPibx  
    b}{9 :n/SC  
    v lnUN  
    波前的采樣和Zernike項的數(shù)量都可以由用戶通過“設(shè)置”對話框定義。確定波前是否充分采樣或澤尼克項數(shù)量的關(guān)鍵參數(shù)是RMS擬合誤差和最大擬合誤差。此設(shè)計使用采樣和項數(shù)的默認(rèn)參數(shù),可提供
    #mFAl|O  
    2|H'j~  
    zyQEz#O   
    nhaoh!8A6  
    O%h 97^%k  
    這意味著,當(dāng)我們從從澤尼克系數(shù)重建的波前中減去真實的波前時,誤差是百萬分之一波的數(shù)量級。這已經(jīng)足夠接近了!但是,一般來說,您可能需要調(diào)整波前采樣和最大 Zernike 項才能達到可接受的擬合。
    eOnl s x/  
    *gMP_I  
    我們現(xiàn)在需要將澤尼克系數(shù)數(shù)據(jù)從這個設(shè)計轉(zhuǎn)移到近軸等效設(shè)計中。這可以通過打印出 Zernike 數(shù)據(jù)并重新鍵入來完成,但這很乏味。對于宏來說,這是一個很好的工作。
    <:}AC{I  
    x?& xz;  
    以下宏(也包含在文章附件中),稱為Zernike Readout.zpl,從此鏡頭獲取Zernike數(shù)據(jù),并將其以Tools…在額外數(shù)據(jù)編輯器上導(dǎo)入數(shù)據(jù)可以讀取。它經(jīng)歷的步驟如下: WiCM,wDi  
    ]R.Vq\A%S  
    2o7C2)YT$  
    首先,它定義了它需要的所有變量(L1-19)。 ^*~u4app  
    ! This macro writes out the Zernike standard coefficients o2U J*4  
    ! of a lens file in a format that can be directly imported ~w}[ ._'#M  
    ! into the Extra data Parameters of a Zernike Standard Phase surface G Z[5m[  
    ! First define the variables we need -bX.4+U  
    ! Enter whatever values are appropriate ;;J98G|1  
    ! Use INPUT statements if you prefer ,rPyXS9Sa{  
    max_order = 37 # can be up to 231 YVV $g-D}  
    sampling = 2 #sampling is 1 for 32×32, 2 for 64×64 etc xB]v