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《光學(xué)光刻和極紫外光刻》

發(fā)布:cyqdesign 2023-04-12 19:25 閱讀:4383
光學(xué)光刻和極紫外光刻》是一本最新的光刻技術(shù)專著,內(nèi)容涉及該領(lǐng)域的各個(gè)重要方面。在介紹光刻技術(shù)應(yīng)用上,涵蓋了全面又豐富的內(nèi)容;在論述光刻技術(shù)的物理機(jī)制和數(shù)學(xué)模型時(shí),采用了完整而不繁瑣的方法,增加了可讀性。本書(shū)在系統(tǒng)地闡述了光學(xué)光刻技術(shù)的基本內(nèi)容后,還專門開(kāi)辟章節(jié),介紹了最先進(jìn)的極紫外光刻技術(shù)的特點(diǎn)和難點(diǎn),揭示了極紫外光刻的技術(shù)奧秘。本書(shū)具有全面、完整、翔實(shí)和新穎的特點(diǎn),它凝聚了作者三十多年光刻領(lǐng)域科研和教學(xué)的精華。 )Ehi 8  
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