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該應(yīng)用案例演示了對(duì)亞波長(zhǎng)尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對(duì)直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究,并說(shuō)明了反射率對(duì)波長(zhǎng)及入射角變化的敏感度。 .z}*!
+5xk6RP 1. 建模任務(wù) u81@vEK:_ P`TJqJiY~ 對(duì)全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 7?W1i{( :/~TV 假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 s^zX9IVnp 2. 建模任務(wù):3維平頂錐 i=AQ1X\s uB>OS1= 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 [iGL~RiXtn -W'T3_ :=e"D;5 VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來(lái)簡(jiǎn)化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 @l
%x;`E bW?cb5C 例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 PCs`aVZ ;q&2$Mb 可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來(lái)建立微透鏡陣列或混合透鏡。 cVuT|b^ 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) 4ZCD@C 9?.
優(yōu)化過(guò)程中保持不變的參數(shù): @D+2dT0[M 1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) y$`@QRW 2. 底部直徑:125nm t*(buAx 3. 周期尺寸:125nm C|-QU 優(yōu)化過(guò)程中變化的參數(shù): `g^b
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