該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 [b i3%yWh
Ns!3- Y 1. 線柵偏振片的原理 "H="Ip!s Q
f+p0 E; 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 y LgKS8b
2. 建模任務(wù) k BiBXRt
FSU%?PxO
)}Rfa}MD
全部透射光線的嚴格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 +r-dr>&H@
偏振元件的重要特性： n,?IcDU~m
偏振對比度 7moElh v
透射率 ^?s~Fk_ V
效率一致性 TXJY2J*24
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) Z`oaaO u
JQaHL! 3. 建模任務(wù)： iJZ|[jEDV
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖)
5rf H;` 4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) ;naq-%'Sg
Wm$`ae
偏振片#1: P!FE h'. 偏振對比度不小于50@193nm波長 ]~ prR? 高透過率(最大化) &>W (l. 光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) 'wz\tT
