該應用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結構。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 sUsIu,1Q
5<?/M <i 1. 線柵偏振片的原理 RTTEAh:.
)F:UkS 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 9|//_4]
2. 建模任務 sB`zk[ R;
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全部透射光線的嚴格仿真和結構參數(shù)的優(yōu)化。 +6 x:+9S
偏振元件的重要特性： eh$T
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偏振對比度 ZAMS;e+e
透射率 ~kPZh1n`
效率一致性 ;EfREfk
線格結構的應用(金屬) P3V }cGZ r$- ]NYPi 3. 建模任務： c
