該應(yīng)用案例說(shuō)明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線(xiàn)柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 \sy;ca)[6g
YS_9M Pi 1. 線(xiàn)柵偏振片的原理 ,8F?v~C MI!JZI$z5 帶金屬脊的線(xiàn)柵偏振片（如鋁，鉻等）。 Wv
2. 建模任務(wù) Oc]&1>M
Q&rf&8iH
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全部透射光線(xiàn)的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 OGy/8B2c
偏振元件的重要特性： y %k`
偏振對(duì)比度 oadlyqlw#
透射率 S*H :/Ip
效率一致性 d E@R7yU@
線(xiàn)格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) dwc$?Bg ,5 by {G{M`X 3. 建模任務(wù)： Cf_Ik
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖)
t;DZ^Z"{ 4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) h>Z$
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