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    [技術(shù)]紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-04-20
    該應(yīng)用案例說(shuō)明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 h;V 4|jM  
     )eZK/>L&  
    1. 線柵偏振片的原理 wJC[[_"3 I  
    ^/C\:hw  
    帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 OZ&/&?!XE  
    2. 建模任務(wù) J(]|)?x2  
    VZ9 p "  
    L}h_\1  
     全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 ~?\U];l  
     偏振元件的重要特性： f,G*e367:  
     偏振對(duì)比度 }0'LKwIR  
     透射率 jQ{ @ol}n  
     效率一致性 o/Ismg-p  
     線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬)     SBxpJsW >  
    q`xc h[H  
    3. 建模任務(wù)： C19N0=  
    x-z方向(截面)                         x-y方向(俯視圖)
    %o?)`z9-  
    4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) y3~`qq  
     2uj .*  
    偏振片#1: <K CI@  
     偏振對(duì)比度不小于50@193nm波長(zhǎng) KA2>[x2  
     高透過(guò)率(最大化) =u2 z3$  
    光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) 9pLe8D  
     光柵材料：鎢(適用于紫外波段) ]IV{;{E)  
    偏振片#2: UT;%I_i!'  
     偏振對(duì)比度不小于50@300—400nm波段范圍內(nèi) ;\K]~  
     在波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有5%一致性的高透過(guò)率 t3)6R(JC  
     光柵周期：100nm FX!KX/OE)  
     光柵材料：鎢 6 byeO&d  
     h*Fv~j'p  
    5. 偏振片特性 2 7)If E  
     S~