這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 oS..y($TI 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。 JJ tx `@Bc S偏振光照明的近場強(qiáng)度
P偏振光照明的近場強(qiáng)度 v
'+]T=
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級次的振幅。
