這是一維周期線柵的簡(jiǎn)單案例。周期單元包含通過(guò)光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 LG+2?+tE" 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。 `PUGg[Zx^ S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度
P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 I'E7mb<2
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 ]<*-pRN
